中圖儀器SuperViewW1精密納米級白光干涉儀可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。其集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)，*大限度的保護儀器，降低人為操作風(fēng)險。

操作方法
在計算機上打開白光干涉儀測量軟件，在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行的點，再微調(diào)鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離，調(diào)整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時設(shè)置好要掃描的距離。按開始按鈕，白光干涉儀可自動進行掃描測量，測量完成后，轉(zhuǎn)件自動生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進行數(shù)據(jù)分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、0D參數(shù)。
應(yīng)用范例
SuperViewW1精密納米級白光干涉儀基于白光干涉原理研制而成，采用擴展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。

標準配置：

1)SuperView W1主機
2)影像系統(tǒng)：1024×1024
3)光學(xué)Zoom：0.5×
4)干涉物鏡：10×
5)XY位移載物臺：自動位移臺
6)DELL品牌計算機
7)4.7μm  Z向校準臺階塊
8)操縱手柄
9)中圖W1光學(xué)3D表面輪廓儀軟件
10)自動多區(qū)域測量、自動拼接測量功能模塊
11)電氣控制柜
12)TGY30-680-30L無油靜音空壓機
13)儀器工作臺
14)儀器配件箱
15)加壓充氣裝置一套
16)產(chǎn)品使用說明書
17)產(chǎn)品合格證、保修卡
可選配置：
1）干涉物鏡：2.5×、5×、20×、50×、100×
2）光學(xué)zoom：0.75×、1×；
3）真空吸附臺（尺寸可定制）：4寸、6寸;
4）5孔電動物鏡轉(zhuǎn)盤；
5）隔振外殼（1043㎜×1120㎜×1630㎜）