應(yīng)用于等離子體真空系統(tǒng)，具有高可靠性的電源

產(chǎn)品性能

該電源輸出功率可達(dá)500W到1250W，頻率13.56MHz，標(biāo)準(zhǔn)正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩(wěn)定、可重復(fù)等優(yōu)點(diǎn)。電源采用大屏幕液晶顯示：設(shè)定功率、入射功率、反射功率、狀態(tài)等參數(shù)，同時(shí)還可以顯示匹配器的運(yùn)行參數(shù)并且通過(guò)電源面板可操作射頻匹配器。

應(yīng)用對(duì)象

該電源可以作為射頻驅(qū)動(dòng)等離子體系統(tǒng)的電源，該系統(tǒng)可應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)。應(yīng)用對(duì)象包括：刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統(tǒng)。