1、確定測量工件是什么？什么材質(zhì)？什么形狀？多大尺寸？

2、要測量的參數(shù)是哪些？測量精度要求是多少？

3、是否有其他特殊要求？

深圳中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的superview光學3d表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器，有自動多區(qū)域測量功能、自動聚焦、批量測量、自動調(diào)亮度等自動化功能，還有拼接測量功能?；诎坠飧缮嬖恚?D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

1、表面形貌（粗糙度、平面度、平行度、臺階高度、錐角等等）

2、幾何特征（關鍵孔徑尺寸、曲率半徑、特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）

superview光學3d表面輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。因測量精度高、使用方便、分析功能強大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點，再加上其獨特的光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測，被廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。