隨著智能制造技術(shù)的不斷深入，檢測成為了生產(chǎn)過程中越來越重要的一環(huán)。精密位移測量方興未艾，從技術(shù)指標上來講，其精度已經(jīng)從微米級跨入納米級；從市場需求上來講，實驗室已經(jīng)進入亞微米及納米級需求階段，但工業(yè)上還處于微米級需求階段。中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000
外差激光干涉儀是實現(xiàn)大量程納米測量的重要方法，主要用來檢測生產(chǎn)機床時的各種精度誤差，以便于補償校準。它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種雙頻激光干涉儀。
雙頻激光干涉儀克服了單頻激光干涉儀直流光平和電平零點漂移的弊端，這一特點使它可以棄普通車間進行應(yīng)用，具有更強的環(huán)境適應(yīng)能力，同時可進行動態(tài)高速測量，配以相應(yīng)元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。SJ6000
外差激光干涉儀傳感器采用雙頻氦氖激光器作為光源。其精度高，抗干擾能力強，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此降低了對環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。激光千涉?zhèn)鞲衅骺蓱?yīng)用于精密長度計量，如線紋尺和光柵的檢定，量塊自動測量，精密絲桿動態(tài)測量等，還可用于工件尺寸、坐標尺寸的精密測量中。
產(chǎn)品參數(shù)
穩(wěn)頻方式：雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）
角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m
測量分辨力：1nm
動態(tài)采集頻率：50KHz
預(yù)熱時間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
主要特點：應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便
技術(shù)參數(shù)
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）
角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m
測量分辨力：1nm
動態(tài)采集頻率：50KHz
預(yù)熱時間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
顯著特點
1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
①使用美國高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達到4m/s。
④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析
③可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進行動態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。
②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中，更方便用戶切換測量類型。
③向?qū)讲僮鳎鞒糖逦?，更符合國?nèi)用戶的使用習慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準，價格是國內(nèi)儀器的良心價。
此前，國產(chǎn)yu國外的產(chǎn)品有著一定的差距，這導(dǎo)致國外產(chǎn)品一度壟斷國內(nèi)市場。SJ6000外差激光干涉儀的上市將打破這一局面，大大降低企業(yè)的檢測成本。中圖儀器SJ6000以技術(shù)實力為依據(jù)，在測量精度、測量速度、測量類型等方面上達到進口品牌的水平，為用戶提供了更多選擇。
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